半導體元件空間單位都是以微米計算的，如果微塵顆粒粘附在製作半導體組建的晶圓上，有可能影響到其上精密導線佈局的樣式，造成短路或短路的後果，所以半導體潔淨室必可不少，半導體制程裝置都必須安置在隔絕粉塵進入的密閉空間中。半導體潔淨室主要需控制氣味、微粒、氨、有毒氣體和靜電等汙染物。本文結合EPC工程（總承包）整合服務商CEIDI西遞的專案經驗，具體分析半導體潔淨室的平面規劃設計要注意的問題。
半導體積體電路晶片生產廠房在工業建築中屬潔淨建築，相對其它工業建築它的內部裝修設計難度較大。積體電路晶片生產過程中工藝流程一般會出現多次交叉反覆。像晶片生產過程中的光刻、腐蝕、擴散、蒸發、表面純化等，工藝流程上都會往復交叉頻繁所以在平面佈局方面設計師要在詳細瞭解每個工段的工藝流程基礎上做進一步的平面佈局規劃。
一般在百級-萬級的半導體潔淨室平面裝修方案中，CEIDI西遞設計師都會依據人流和物流淨化流向來精確規劃佈局平面。
工作人員的淨化路線為：
入口→換鞋→更換外出服→洗浴→清潔走廊→二次洗浴→換潔淨服→風淋室→潔淨生產區。
物品的淨化路線為
：
入口→原料庫→粗潔淨→傳遞窗→精潔淨→傳遞窗→潔淨生產區→傳遞窗→包裝→成品庫。
依據以上流向設計各潔淨區和輔助區的佈局，再結合各個不同工序的潔淨室要求的空氣潔淨度，儘可能將汙染的機率和對器件的潛在故障不良因素壓到最低。
像半導體百級潔淨室工段區域需要做到密封的狀態，潔淨室需維持一定的正壓，保證潔淨室不受汙染或少受汙染，以維持其潔淨度。CEIDI西遞設計師一般會經過大量的冷熱負荷計算、風量平衡計算等，合理的工程設計、最佳化，工程安裝、除錯，來確保整個百級潔淨室淨化系統的正常執行。各工段根據潔淨室特性、淨化系統特性等選擇合適的送風方式，不同的送風方式各有利弊，實際操作中設計師會根據實際需求進行氣流組織設計。
半導體行業發展速度快，對潔淨生產的要求越來越高，結構圍護、暖通、空壓氣體、防靜電等各類技術配套工程的裝修設計也越來越複雜。譬如，在工藝技術較為先進的半導體晶圓工廠的製造過程中，工藝步驟多達幾百道，前後要使用幾十種不同種類的氣體。CEIDI西遞在設計電子工業超淨間過程中會依據行業特色和自身經驗判斷用哪種供氣方式更適合。譬如晶圓半導體超淨車間，會推薦採用外購氣體鋼瓶或鋼瓶組來輸送供氣，有易燃性氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體、惰性氣體、氧化性氣體組成的多種類特種氣體需求的，選擇這種方式電耗及制氣成本相對也比較低廉，使用方式更加靈活。
專注於潔淨工程領域的EPC整合服務商CEIDI西遞擁有經驗豐富的團隊和全方位成熟的服務，在半導體潔淨室設計施工前充分了解客戶的業務、產品和流程，以便提供更加優質的服務。
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