2021-10-08華卓精科光刻機研發萬元

華卓精科主營業務為超精密測控裝置，產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模組、靜電卡盤、晶圓級鍵合裝置、鐳射退火裝置等，主要應用於積體電路製造、超精密製造、光學、醫療等行業...

2021-09-18光刻機華卓精科工件精密

募資超7億，加碼研發華卓精科成立於2012年，雖被譽為國產光刻機第一股，但公司不生產光刻機整機，而是聚焦EUV光刻機雙工件臺技術...