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ASML柏林工廠火災 恐衝擊EUV元件供應!

ASML

德國柏林工廠近日發生火災,據瞭解,佔地32,000平方公尺的柏林廠區,約200平方公尺廠區受火災影響!

ASML發言人於1月4日稱,廠區受到火災損傷的區域仍然處於關閉狀態。

該工廠主要製造光刻機光學零元件,如晶圓臺、光罩吸盤和反射鏡,固定光罩的光罩吸盤處於緊缺狀態。零元件以供應 EUV 機臺較多,且以晶圓代工需求佔多數。若因火災使零元件交期延後,不排除ASML將優先分配主要產出支援晶圓代工訂單的可能性。

ASML柏林工廠火災 恐衝擊EUV元件供應!

據悉,EUV主要使用7nm以下先進製程製造。全球僅臺積電與三星使用此裝置製造,臺積電7nm、5nm、3nm製程,三星南韓華城EUV Line(7nm、5nm及4nm)及3nm GAA製程等。不過受全球晶圓代工產能緊缺、各廠積極擴廠等因素影響,半導體裝置交期也越拉越長。

ASML柏林工廠火災 恐衝擊EUV元件供應!

DRAM方面,目前三星及SK海力士已用於1Z nm及1alpha nm製程,美系廠商美光預計2024年匯入EUV於1gamma 納米制程。據分析機構TrendForce目前掌握,ASML EUV裝置交期落在12~18個月,也因裝置交期較長,ASML或在裝置組裝時間等待工廠損失的零元件重新制造。

儘管ASML努力淡化火災影響,但分析師警告稱,ASML德國柏林廠這起意外,可能拉長全球晶片短缺的持續時間。有外媒報道稱,ASML柏林廠生產微影裝置的關鍵零元件,若該公司出貨量因為這起意外減少10%,可能導致全球光刻機的供應減少約8。4%。分析師Matthew Bryson評論稱,大火可能至少在短期內限制ASML產量,從而阻礙計劃中的代工生產。

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