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EUV光刻機裡的低調王者
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EUV光刻機裡的低調王者

ASML的產品釋出時間規劃(source:semiwiki)來到λ方面,為了降低其數值,如下圖所示,光刻機的光源在過去多年的發展從包括g-line和i-line在內的高壓汞燈開始,歷經KrF和ArF,並在最近幾年進入到了EUV時代...