數值孔徑

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ASML下一代高精準度EUV光刻機售價將高達3億美元

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2021-12-23光刻機製程 EUV ASML 數值孔徑

而全球光刻機大廠ASML獨家供應的EUV光刻機，則是製造7nm以下先進製程的必備裝置...