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0.1nm!國產晶片關鍵裝置投用,可用於EUV光刻機光鏡頭

國產晶片關鍵裝置投用

對於國內的晶片產業來說,最缺的不是技術,而是各種精密的半導體裝置。因為國產晶片之所以在製造方面存在較為明顯的短板,就是因為缺少相關裝置的支援,而目前那些高階裝置的生產技術,基本上都掌握在西方發達國家手裡。

就比如說光刻機這項困擾了國內幾十年的難題,雖然上海微電子已經能夠造出28nm精度的光刻機了,並且預計明年年初就能正式投入使用,但是這個水平也才剛剛追上荷蘭ASML的DUV光刻機,距離最頂尖的EUV光刻機還有很大的差距。

ASML是全球知名的半導體廠商,也是世界公認的第一大光刻機巨頭,由它生產出來的EUV光刻機,在高階晶片市場佔有不可替代的重要地位。我們國內也曾想過從ASML進口EUV光刻機,但礙於美國的影響,ASML並不能自由出貨,所以時至今日國內連一臺EUV光刻機都沒有。

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這便是國產晶片遲遲無法取得較大進步的主要原因,沒有EUV光刻機的支援,就算技術再先進,也無法實現7nm和5nm晶片的量產。為此,從去年下半年開始,國內就加強了對半導體裝置研發工作的重視力度,希望能夠儘快解決國產晶片的短板問題。

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而就在近期,經過長時間的努力和無數科研人員的奮鬥後,國內終於迎來了好訊息。6月28日,據央視報道稱,國內首臺高能同步輻射光源科研裝置,正式進入了安裝階段,而且為其提供技術支援的光源平臺也開始展開試執行,二者正在共同進步。

可能很多人都不明白這種裝置和技術到底有什麼作用,也不清楚這些專業名詞究竟是什麼意思?但其實名稱並不重要,重要的是它們的實際功能,高能同步輻射光源是國內重點建設的基礎科研專案,由發改委立項,中科院高能物理研究所承建。

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這項裝置建好並安裝完成後,將成為國內首臺高能量輻射光源、全球亮度最高的第四代光源之一,為很多重要的科研領域提供了最基本的技術支撐。其中就包括大家關注的EUV光刻機,有了高能同步輻射光源後,EUV光刻機的光源技術就有了保障。

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而且為了提高光源的精度和質量,中科院還專門配套研究了一個真空鍍膜裝置,可以將光學鍍膜的厚度降低到0。1nm以內。也就是說,中科院的光學鍍膜水平已經達到了世界前列,再加上第四代輻射光源的支援,國內要不了多久就能全面攻克EUV光刻機。

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有望攻克EUV光刻機難題

相信大家還記得,ASML總裁曾口出狂言:就算ASML開放圖紙,其它公司或國家也造不出EUV光刻機。這番話不僅顯示出了ASML對自身實力的自信,還從側面證明了EUV光刻機的難度之高,不然現如今也不會只有ASML一家公司,具備生產EUV光刻機的能力。

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但是就目前來講,ASML很快就會面臨“打臉”,因為我們國內已經開始發力,EUV光刻機的難題並不是無法攻克。一臺光刻機,主要包括三個核心零部件,分別是工作臺、光學鏡頭和光源技術,而國內在這三個方面都取得了明顯的進展。

上述的高能同步輻射光源,指的就是光學鏡頭,而之前清華大學也曾傳出突破EUV光源技術的好訊息。至於工作臺,國內的華大九天等半導體公司,同樣有深入的研究。只要將它們的成果整合到一起,EUV光刻機的自主化生產就沒有之前那麼困難了。

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寫在最後

綜上所述,如今國產晶片的發展狀態已經變得越來越好,無論是核心技術還是關鍵裝置,國產半導體公司都能完成突破。相信接下來隨著國內更加完善的佈局,國產晶片一定能夠打破國外的封鎖,實現真正的崛起!

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