選單

誰說中國造不出光刻機?3項關鍵技術破冰,ASML也開始示好

我們都知道,在光刻機領域之中,荷蘭的阿斯麥是一家獨大的,其手中掌握著最先進的EVV光刻機技術專利,所以在整個光刻機市場之中,幾乎所有的廠商都非常依賴於阿斯麥,即便全臺積電是全球最大的晶片代工廠,但如果沒有阿斯麥的光刻機,那麼臺積電也絕對不可能做到這個位置。

阿斯麥一家獨大

對於自家的EUV光刻機光刻機,阿斯麥表現出了絕對的信心,曾經表示即便是將圖紙交出來,也沒有人能夠製造出一模一樣的光刻機來。光刻機的製造難度的確是非常大,尤其是高階光刻機作為最頂級的生產裝置,高階的EUV光刻機,集成了上百種最為先進的技術,光是其中的零件就達到了幾萬個,甚至上十幾萬個,每一個零部件都需要進行上千次,甚至是上萬次的除錯,使用的是全球最先進的所有的科技水平。

誰說中國造不出光刻機?3項關鍵技術破冰,ASML也開始示好

所以這樣看起來光刻機的製造並不是有了圖紙就能夠製造出來的,還需要大量的頂尖技術供應商的支援,可以說,即便是科技水平最高的美國,也是沒有辦法單獨完成高階光刻機的製造的。這也是為什麼光刻機會被譽為是人類工業皇冠上的掌上明珠的原因。

誰說中國造不出光刻機?3項關鍵技術破冰,ASML也開始示好

其實國內並不是沒有光刻機制造廠商,像是國內的上海微電子,就具備生產光刻機的能力,但是值得一提的是,上海微電子目前只能夠製造出中低端光刻機來,也就是說,我們在高階光刻機的問題上依舊難以得到解決

誰說中國造不出光刻機?3項關鍵技術破冰,ASML也開始示好

美國修改規則之後,國內想要從阿斯麥進口EUV光刻機更是難上加難,由於受到美國規則的影響,阿斯麥沒有辦法與國內進行合作,即便是能夠進行出口,也僅僅只是最為普通的duv光刻機,這種光刻機僅僅只能生產製造出成熟製程的晶片,像是7nm等等這樣的先進製程晶片必須要EUV光刻機才能夠完成。

三個好訊息傳來

那麼我們真的沒有辦法解決掉EUV光刻機這個難題嗎?答案當然是否定的。在進入2021年之後,國內不斷傳來好訊息,如今三項關鍵技術被破冰,使得我們看到了希望。

誰說中國造不出光刻機?3項關鍵技術破冰,ASML也開始示好

第一項技術就是華卓精科的雙工作臺,不過這次華卓精科所推出的雙工作臺與阿斯麥有是有區別的,主要用在浸沒式,掃描光刻機市場等等。

誰說中國造不出光刻機?3項關鍵技術破冰,ASML也開始示好

第二個就是中科院研發出了能夠給用於EUV光刻機的光源,作為EUV光刻機的光源,創造出了基礎條件,目前也已經推出了相關的裝置,在處理之後就能夠應用在光刻機領域之中。

誰說中國造不出光刻機?3項關鍵技術破冰,ASML也開始示好

最後就是清華大學將極紫外光粒子加速器攻克了。這也就意味著我們在光刻機領域之中,已經做到了一定的突破,距離生產製造出光刻機指日可待了。看起來此次阿斯麥真的被打臉了,而在國內傳出這樣的好訊息之後,阿斯麥也開始逐漸示好。

阿斯麥轉變立場

不僅示好國內表示會加速在國內市場的佈局,還開始警告美國這樣的愚蠢行為必須停止,其實對阿斯麥來講,中國市場是一塊大蛋糕,如果失去中國市場阿斯麥會難以穩固其光刻機巨頭的地位,之所以會這樣說,是因為早年間阿斯麥的發展並不如中日本的尼康以及佳能。

誰說中國造不出光刻機?3項關鍵技術破冰,ASML也開始示好

當初若不是美國的助力,打壓了日本的佳能以及尼康,阿斯麥怎麼也不可能從一家小作坊一舉成為最為先進的光科技巨頭,可如今佳能和尼康都有崛起之勢,阿斯麥如果在這個時候失去中國市場,那麼在未來的發展之中,其光刻機巨頭的地位很容易被動搖,所以這就是為什麼當初美國曾經竭盡全力幫助阿斯麥,阿斯麥卻轉過頭來威,警告美國的重要原因。