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中芯寧波自主體聲波諧振器工藝平臺已支援多家晶片廠商實現量產

摘要:11月13日訊息,據EETOP從業內訊息人士獲悉,中芯積體電路(寧波)有限公司(以下簡稱“中芯寧波”)的自主體聲波諧振器工藝技術平臺SASFR ,已支援多家設計公司實現射頻前端中高頻體聲波濾波器(BAW)量產,客戶產品效能已達到國內最優、業界先進水平,可開始向高階手機供貨,在中國大陸獨樹一幟,也在長期被國外廠商壟斷的中高階體聲波濾波器領域,實現了具有全自主智慧財產權的核心技術和規模製造突圍。

中芯寧波自主體聲波諧振器工藝平臺已支援多家晶片廠商實現量產

11月13日訊息,據EETOP從業內訊息人士獲悉,中芯積體電路(寧波)有限公司(以下簡稱“中芯寧波”)的自主體聲波諧振器工藝技術平臺SASFR,已支援多家設計公司實現射頻前端中高頻體聲波濾波器(BAW)量產,客戶產品效能已達到國內最優、業界先進水平,可開始向高階手機供貨,在中國大陸獨樹一幟,也在長期被國外廠商壟斷的中高階體聲波濾波器領域,實現了具有全自主智慧財產權的核心技術和規模製造突圍。

SASFR(SuspendedAcoustic Separated Film Resonator,也稱“懸浮聲學隔離薄膜諧振器”)是中芯寧波全自主開發並擁有全套自主智慧財產權的一種懸臂式薄膜體聲波諧振器工藝與器件技術,包含整合空腔的諧振器前道晶圓工藝平臺以及後道晶圓級晶片封裝與測試配套技術。與業界沿用多年的傳統技術路線大相徑庭,SASFR 平臺在薄膜工藝構架和諧振器件設計上,實現了真正意義上的自主創新突破,且其諧振器關鍵效能指標可與國際競品比肩,個別性能甚至高於國際水平。

這一自主體聲波濾波器晶圓工藝平臺,其核心諧振微器件能夠實現射頻訊號的高效能篩選、降噪、濾波或諧振等多重功能。基於這一平臺設計的0。8至6。0 GHz射頻濾波器產品,具有低插損、高隔離度、微型化、高功率、體積小等諸多優點,應用範圍廣泛,所支援產品設計和開發靈活性強,基本覆蓋了5G通訊所有領域,如手機、無線通訊基站、智慧電錶,以及智慧家電資訊互動等應用場景。

SASFR 工藝技術和規模製造平臺是中芯寧波的核心產品線之一。2019年啟動產品線研發後,中芯寧波只用不到兩年的時間,就通過了多家客戶的產品認證並實現量產。

據芯智訊瞭解,去年4月底,國產EDA軟體、整合無源器件IPD和系統級封裝領域的領先供應商芯和半導體就曾宣佈,基於中芯寧波自主開發的高效能體聲波諧振器技術以及全套晶圓級加工與封裝工藝技術,芯和半導體的首款自主設計和開發的高頻段體聲波濾波器產品正式釋出,並已向本土無線終端客戶送樣,進入系統客戶的驗證和測試階段,並於2020年第三季度進入批次生產和供貨。

另據新聲公司負責人表示,選擇中芯寧波作為戰略合作伙伴的最重要原因是,SASFR 工藝平臺是中芯寧波CEO黃河博士親自率領團隊從零開始全自主開發,智慧財產權完全自主可控。啟動客戶推廣與產品合作以來,新聲在中芯寧波代工的體聲波濾波器良率和可靠性快速提升。中芯寧波用兩年的時間走過了國外IDM十年的發展道路。

據瞭解,此前中芯寧波相關業務負責人曾表示,公司CEO黃河博士是SASFR 的核心發明人。公司研發和晶圓廠運營團隊在黃河博士的領導下從零起步,排除各種質疑,戰勝無數艱難險阻,純粹憑藉團隊自身的力量,堅定地走全自主工藝技術開發道路,短時間內完成了全套晶圓製造工藝、晶圓級封裝和測試的開發、設定和驗證並進入產業化,創造了奇蹟。

業內專家評價說,中芯寧波SASFR 製造平臺的成功充分說明,憑藉自主創新的堅定決心、團結實幹的優秀隊伍和互信共贏的市場合作,完全有可能在一些國外壟斷的領域實現智慧財產權安全的產業化突破。

隨著5G商用的啟動,國內濾波器出貨量呈現爆發式增長態勢。業內分析機構預測,2022年全球濾波器市場規模將達到160億美元,其中體聲波濾波器佔比約47%,市場規模約75億美元。目前,國內中高頻體聲波濾波器市場仍然主要被Broadcom和Qorvo等國外廠商所壟斷。

關於中芯寧波

中芯積體電路(寧波)有限公司由中芯國際、國家積體電路產業投資基金(大基金)和地方產投基金等聯合投資,2016年底落戶北侖區,是寧波市積體電路產業龍頭企業。公司於2020年12月完成B輪融資後,三家社會資本為並列第一大股東,中芯國際為第四大股東,大基金為第五大股東。

中芯寧波專注於射頻前端、高壓模擬和光電整合特種工藝半導體領域,核心技術和管理團隊以曾在中芯國際從事特種工藝研發和生產的專業成員為基礎,並吸收了來自英特爾、臺積電、瑞薩和應用材料等國內外優秀半導體企業的資深管理和技術專家。目前,公司員工總數約800人,其中研發人員佔比約30%,人均經驗超過15年,工程技術人員佔比超過85%。

公司規劃建設和運營兩條具有業界先進技術水平的特種工藝積體電路晶圓製造產線,其中位於小港裝備產業園的8英寸N1產線已於2018年11月投產,位於柴橋芯港小鎮的N2專案於2020年6月開工建設,2021年6月如期完成首部機臺搬入。

成立以來,公司在CEO黃河博士的領導下,不忘初心、牢記使命、低調務實、奮鬥為本,不以國外任何現成技術為參考,堅定地走基礎性、原理性的自主創新之路,承擔科技部和工信部牽頭的“03專項”和“工業強基”等國家重大專項技術攻關,並構建了完整的智慧財產權保護體系。公司研發投入逐年遞增,2017年至2020年分別為4000萬元、7200萬元、1。5億元、1。9億元,2021年預計達到3。7億元。截至2021年10月,公司國內國外專利申請總量超過700件,研發團隊人均專利申請量在國內半導體制造領域排名第一。2021年5月,公司入選浙江省創造力百強,成為寧波唯一一家獲此殊榮的半導體公司。

中芯寧波以客戶需求為導向,採用專業化特種工藝晶圓製造代工(Foundry)與應用定製化產品設計服務支援相結合的商業和運營模式,目標市場涵蓋5G通訊與移動終端、智慧家電與工業控制、工業物聯網與醫療電子等多個戰略性新興產業,致力於在專注領域發展成為中國最大、具有國際先進水平的特種工藝半導體晶圓代工製造商。

黃河博士是團隊靈魂

業內人人士還表示,中芯寧波取得的成績高度依賴黃河博士的領導。黃河博士是有史以來共40名“寧波市傑出人才”之一,為寧波半導體積體電路產業的發展做出了不可估量的貢獻。他是中芯寧波一切技術和業務的開拓者和主心骨。沒有黃河博士,就沒有中芯寧波的過去、現在和未來。

黃河博士放棄美國大公司的優厚待遇,2002年回國加入中芯國際,此後至2016年的十四年間一直從事特種工藝研發,是中芯國際甚至中國大陸幾乎全部特種工藝專案的主要開拓者。中芯寧波成立後,在黃河博士的感召下,幾十名核心技術與管理人員遷居寧波北侖,全身心致力於特種工藝半導體事業,也為帶動寧波積體電路產業發展做出了突出貢獻。五年間,公司從最初的幾個人逐漸發展到走向千人,全體員工一直緊密團結在黃河博士周圍,這既是因為黃河博士擁有無與倫比的專業能力,更是因為黃河博士人品出眾、極富凝聚力和領導力。